體積表面電阻率測試儀的精度評估

1.重復性

定義：在相同條件下（同一操作員、同一臺儀器、同一測試樣品、短時間間隔內(nèi)），對同一被測對象進行連續(xù)多次測量，其結(jié)果之間的一致性程度。

評估方法：

1.選取一個性能穩(wěn)定的均勻樣品（如標準高阻器或均勻的絕緣板材）。

2.在全相同的測試條件（電壓、充電時間、環(huán)境溫濕度）下，重復測量其電阻（體積電阻或表面電阻）至少10次。

3.計算這組測量結(jié)果的算術(shù)平均值和標準偏差。

4.重復性誤差通常用變異系數(shù)來表示：`CV=(標準偏差/平均值)×100%`。CV值越小，說明重復性越好。

2.再現(xiàn)性

定義：在改變了條件下（不同操作員、不同試驗機、不同實驗室、不同時間），對同一被測對象進行測量，其結(jié)果之間的一致性程度。它比重復性更能全面反映測量系統(tǒng)的穩(wěn)健性。

評估方法：

1.實驗室內(nèi)部：由不同操作員使用同一臺設備，在不同時間對同一標準樣品進行測量，比較結(jié)果差異。

2.實驗室間：將同一批均勻樣品分發(fā)到多個實驗室，使用各自的設備按照相同的標準（如ASTMD257,IEC60093）進行測試，對比分析各實驗室的結(jié)果。

3.計算不同條件下測量結(jié)果的極差或標準偏差，作為再現(xiàn)性的量化指標。

3.線性度

定義：試驗機的示值與被測量的真值之間成正比關(guān)系的程度。在高阻測量中，常通過測量不同量程的標準電阻來評估。

評估方法：

1.準備一套覆蓋儀器主要量程的標準高阻箱（例如，10^4Ω,10^6Ω,10^8Ω,10^10Ω,10^12Ω）。

2.用試驗機依次測量這些標準電阻的阻值。

3.記錄每個標準電阻的測量值，并計算其與標準值的相對誤差：`相對誤差=(測量值標準值)/標準值×100%`。

4.繪制“測量值vs.標準值"曲線。理想情況下應為一條斜率為1的直線。線性度好壞通過各點與理想直線的偏差來判斷。

4.準確度

定義：測量結(jié)果與被測量真值的一致程度。它是重復性、再現(xiàn)性和線性度的綜合體現(xiàn)。

評估方法：

直接通過上述線性度評估中使用標準電阻的方法來評估。標準電阻的traceable證書值被視為“約定真值"。測量結(jié)果與真值的偏差即為準確度的直接反映。

5.分辨力

定義：試驗機能夠有效辨別的最小示值差異。例如，一臺讀數(shù)為“1.001GΩ"的設備比讀數(shù)為“1.01GΩ"的設備分辨力更高。

評估方法：觀察儀器在測量一個穩(wěn)定電阻時，其低有效數(shù)字的跳動情況。一個穩(wěn)定且能顯示細微變化的儀器具有更好的分辨力。